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真空鍍膜設(shè)備

科技創(chuàng)新為動(dòng)力 專業(yè)服務(wù)為目標(biāo)
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常規(guī)配置
? 真空泵系統(tǒng)
低真空泵:旋片式機(jī)械泵(蒸壓機(jī)械泵:930m3 h-1)
高真空泵:擴(kuò)散泵(選擇:低溫泵或滑輪分子泵)

? 真空閥系統(tǒng)
型號(hào):3/8”,2”,4”,22“

? 真空室加熱系統(tǒng)
高溫度:0到400℃
型號(hào):滷素?zé)簦ㄟx擇:微型加熱器)
基片型號(hào):球面型或行星型
轉(zhuǎn)速:0到30轉(zhuǎn)速/分
軟起,軟停,可調(diào)速瀘

? 電子控制系統(tǒng)
型號(hào):計(jì)算機(jī)控制面板
可修改和改變?nèi)魏涡枰目刂?br /> 全程控制鍍膜以達(dá)到產(chǎn)品所需的要求
提供所需要的技術(shù)信息

? 真空計(jì)系統(tǒng)
高真空感應(yīng)器:2
低真空感應(yīng)器:1
選擇配置
? 薄膜沉積控制系統(tǒng)
沉積控制:IC-5 (INFICON)
MDC360 (MAXTEK)等等
石英晶髓感應(yīng)器:1,2,6頭

? 光控離子源
無(wú)柵型:直流型
燈絲型:直流型,頻射型

? 電子束源
容量:15cc,25cc,40cc等等
偏轉(zhuǎn)角度:180度或270度
坩鍋:4,6,8倜等等

? 深冷系統(tǒng)
除霜室
擴(kuò)散泵

? 水冷卻系統(tǒng)
水或氣冷卻器
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