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真空鍍膜設(shè)備

科技創(chuàng)新為動(dòng)力 專業(yè)服務(wù)為目標(biāo)
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產(chǎn)品概述
       磁控濺射是在陰極靶表面上方形成一個(gè)正交電磁場(chǎng),當(dāng)濺射產(chǎn)生的二次電子在陰極為降區(qū)內(nèi)加破加速為高能電子后,并不直接飛向陰極而是在正交電磁場(chǎng)作用下作來回振蕩運(yùn)動(dòng),在運(yùn)動(dòng)中高能電子不斷的與氣體分子發(fā)生碰撞,并向后者轉(zhuǎn)移能量,使之電離而本身變?yōu)榈湍茈娮?,消除了高能電子?duì)基體的轟擊。

技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào) VLT-1000 VLT-1200 VLT-1300
鍍膜室尺寸 Φ1000×1250 Φ1200×1250 Φ1300×1500
極限真空度 10-4Pa 10-4Pa 10-4Pa
抽氣時(shí)間 空載常溫抽至5×10-3Pa<10min
膜厚儀 配置振測(cè)厚儀
蒸發(fā)源 電阻蒸發(fā)
學(xué)生靶 一對(duì)(中頻)
圓柱靶 一支
高壓轟擊 3000V 600MA 3000V 600MA 3000V 300MA
工件偏壓 1000V 20A 500 40A 1000V 20A 500 40A 1000V 30A 500 60A
工件旋轉(zhuǎn)方式 單/6/8轉(zhuǎn)公自轉(zhuǎn)行星式齒輪結(jié)構(gòu)
配置機(jī)組 K-600、ZJP300 K-600、ZJP300 K-800、ZJ600
2X-70 2X-70 2X-70
充氣系統(tǒng) 氣體質(zhì)量流量控制儀
烘烤溫度 350℃
控制系統(tǒng)配置 自控控制PLC及觸摸屏
說明:帶*配置由用戶退配,并可由用戶訂選造其他規(guī)格

設(shè)備原理圖示


磁控濺射鍍膜原理圖
 
       在適當(dāng)?shù)恼婵窄h(huán)境下充入一定量的氣體(如氬氣)加上60千瓦的直流電源時(shí)會(huì)產(chǎn)生幾百伏的高電壓產(chǎn)生電弧,在電弧環(huán)境下離子和電子并同靶材沖突產(chǎn)生鍍膜效果。

設(shè)備特性
       生產(chǎn)同期:生產(chǎn)同期短—60sec/1同期(干燥無大量放氣產(chǎn)品條件)
       鍍膜材料:適用各種金屬鍍膜(鋁、鎳、銅、鉻……等金屬材料)
       鍍膜方式:金屬濺射鍍膜和保護(hù)鍍膜連續(xù)完成(鍍膜后不需要其他防氣化處理)
       鍍膜品質(zhì):亮度高,附著力強(qiáng),光潔度好的產(chǎn)品注塑后可以直接鍍膜不需要底涂
       鍍膜速度:兩個(gè)60KW大功率磁控濺射電極,瞬間快速大范圍鍍膜
       除濕能力:真空室內(nèi)裝有零下140度以下的低溫冷凍系統(tǒng),充分吸收濕氣提高真空到達(dá)速度
       運(yùn)營費(fèi)用:濺射電極是自行開發(fā)產(chǎn)品,大大提高了靶材的使用效率
       不良品率:省去通常的加工工序(底涂和鋁膜保護(hù)漆噴涂)減少不良品
       占地面積:在固定位置進(jìn)行上料和下料只要很小的操作空間
       操作方法:人機(jī)界面可以直觀的進(jìn)行設(shè)置和監(jiān)控,設(shè)有管理密碼無關(guān)人員無法更改
       售后服務(wù):設(shè)有售后服務(wù)中心和配件倉庫,可以快速處理使用中的問題

極間靶磁控陰極
       配套了優(yōu)化的極間靶磁控陰極。對(duì)于普通的反射性鍍膜應(yīng)用而言,該設(shè)備將配套工作清潔用的中頻工位、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積底層保護(hù)鍍膜、高速率濺射蒸發(fā)鍍膜、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積表層保護(hù)鍍膜等相應(yīng)的膜層工藝室。

全自動(dòng)工藝控制和整合
       設(shè)備的硬件和軟件設(shè)計(jì)可以與客戶生產(chǎn)線的傳送帶進(jìn)行有機(jī)的結(jié)合。傳送帶負(fù)責(zé)將工件架傳送到設(shè)備上料工位,從而將工件傳送到設(shè)備的鍍膜工位,在工件進(jìn)入下料工位時(shí),傳送帶接收工件架并將工件傳送到下個(gè)生產(chǎn)崗位,設(shè)備通過與傳送帶的精確的配合,幫助客戶進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本和提高產(chǎn)能。

滿足客戶的高生產(chǎn)要求
       包括人機(jī)對(duì)話界面在內(nèi)的控制系統(tǒng)可以提供故障診斷、報(bào)警功能和數(shù)據(jù)日志管理。設(shè)備各個(gè)組件如陰極、驅(qū)動(dòng)裝置和閥門等的安裝位置充分的考慮到了維護(hù)、維修的工作需要。機(jī)型的設(shè)計(jì)、選材和制造充分的反應(yīng)了唯力特真空設(shè)備準(zhǔn)則。
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